스테퍼 제어식 비례 밸브 0-65L/min

고해상도 전자식 유량 제어 밸브

소개

고해상도 전자식 유량 제어 밸브는 반도체 산업의 요구 사항을 충족하도록 설계된 차세대 유량 제어 밸브입니다. 서보 모터와 광학 위치 센서를 사용하여 누출 및 퍼지 용도에 적합한 초고해상도 및 반복성, 낮은 누출률을 제공합니다. 단일 시트 설계와 차압이 없는 이 고해상도 밸브는 기존 니들 밸브보다 탁월한 성능을 제공합니다.

고해상도 전자식 유량 제어 밸브

고해상도 전자식 유량 제어 밸브는 단일 시트 설계로, 밸브 작동에 차압이 필요하지 않습니다. 서보 모터와 광학 위치 센서를 통해 초고해상도, 반복성 및 낮은 누출률을 제공하여 누출 및 퍼지 용도에 적합합니다.

고해상도 밸브는 반도체 산업의 요구 사항을 충족하도록 설계된 차세대 유량 제어 밸브입니다.

고해상도 밸브는 반도체 산업의 요구 사항을 충족하도록 설계된 차세대 유량 제어 밸브입니다. 서보 모터와 광학 위치 센서를 사용하여 누출 및 퍼지 용도에 적합한 초고해상도 및 반복성, 낮은 누출률을 제공합니다. 단일 시트 설계와 차압 부재를 통해 기존 니들 밸브보다 탁월한 성능을 발휘합니다.

이 기술에 대한 자세한 내용은 여기에서 확인할 수 있습니다: [ 링크 ]

고해상도 밸브에는 수많은 특허 기술이 적용되어 있습니다.

• 이 고해상도 밸브는 수많은 특허 혁신 기술을 포함하고 있어 현재 시중의 다른 어떤 제품과도 비교할 수 없습니다.
• 특히, 본 설계는 유량에 대한 전례 없는 수준의 정확성과 제어 기능을 제공하여 임상 병리 또는 미세유체 응용 분야에서 볼 수 있는 소량의 유체를 정밀하게 처리할 수 있도록 합니다. 이를 통해 사용자는 이전보다 훨씬 더 정확하게 샘플 주입을 제어할 수 있습니다.
• 유량은 기기 본체 내부의 얇은 튜브를 따라 앞뒤로 움직이는 기계식 레버 암으로 제어됩니다. 이 튜브 내부의 압력이 증가하면(즉, 더 많은 액체가 통과하면) 이 암은 약 0.5도 정도 회전합니다. 완전히 회전하면 브래킷에서 튀어나온 다른 핀에 어느 쪽이 눌리는지에 따라 완전히 열리거나 닫히는 모드가 작동합니다. 한쪽은 시스템으로 들어가는 유체의 양을 제어하고, 다른 쪽은 시스템에서 나가는 유체의 양을 제어합니다.

유량은 최대 65 slpm입니다.

이 밸브는 최대 65 slpm의 유량 외에도 전체 스케일의 0.05%에 해당하는 업계 최고 수준의 분해능과 0.05%의 반복성을 제공합니다.
1인승 설계를 채택하여 차압이 필요하지 않으므로 유압 동력이나 압축 공기 또는 전기와 같은 외부 에너지원이 필요 없습니다.

업계 최고 수준의 해상도, 전체 크기의 0.05%

밸브의 분해능은 전체 스케일의 0.05%입니다. 이는 다른 밸브는 물론 경쟁사의 전자식 유량 제어 밸브보다도 우수한 성능입니다. 또한, 동급 경쟁사 제품 중에서도 가장 뛰어난 분해능을 자랑합니다.

반복성 0.05%

고해상도란 전체 스케일의 0.05%까지 반복성을 확보할 수 있음을 의미합니다. 반복성은 전자 및 계측 분야에서 사용되는 용어로, 동일한 입력값을 시간에 걸쳐 제공했을 때 장치가 동일한 결과를 생성하는 능력을 나타냅니다. 해상도가 높을수록 출력값이 더욱 정밀해집니다.

당사의 밸브는 전체 스케일의 0.05%에 해당하는 매우 높은 반복 정밀도를 자랑하며, 이는 유량 제어 밸브로서는 극히 높은 수치이며 압력 트랜스미터 및 레벨 센서와 같은 정밀 측정 장비에 전 세계적으로 사용되는 산업 표준입니다.

1인승 설계, 차압 불필요

EFCV는 단일 시트 설계로 차압이 필요하지 않아 시스템에 매우 유리합니다. 차압은 전자식 유량 제어 장치에서 흔히 발생하는 문제입니다. 밸브를 통과하는 유체의 온도가 밸브의 위치나 시스템 내 다른 장비와의 근접성에 따라 변할 때 차압이 발생합니다. 이는 구성 요소에 추가적인 스트레스를 가하고, 방치할 경우 시간이 지남에 따라 손상으로 이어질 수 있습니다. EFCV는 극한 조건에서도 이러한 문제가 발생하지 않도록 설계되었으므로 유지 보수 횟수가 줄어듭니다!

고해상도 전자식 유량 제어 밸브는 반도체 응용 분야에 적합한 초고해상도 및 낮은 누설률을 제공합니다.

고해상도 전자식 유량 제어 밸브는 반도체 응용 분야에 적합한 초고해상도 및 낮은 누설률을 제공합니다. 높은 정밀도, 고해상도, 낮은 누설률 및 초고도의 반복성을 자랑합니다.

이 전자 밸브는 기존 기술의 단점을 극복하고 높은 정밀도, 고해상도, 낮은 누설률 및 초고도의 반복성을 갖습니다.

본 발명의 전자식 유량 제어 밸브는 컴퓨터로 제어 가능하며, 일반적으로 액체 또는 기체의 유량 및 흐름 방향을 제어하는 고해상도 밸브로 사용된다. 이 전자식 밸브는 기존 기술의 단점을 극복하고 높은 정밀도, 고해상도, 낮은 누출률 및 초고도의 반복성을 제공한다. 전자식 유량 제어 밸브는 다음과 같은 구성 요소를 포함한다:

• 유입구와 유출구를 갖는 하우징;
• 입구 포트와 출구 포트 사이에 배치된 슬리브;
• 슬리브 상에 배치된 감지 소자; 4) 슬리브의 한쪽 끝에 배치된 액추에이터; 5) 상기 액추에이터와 관련하여 상기 하우징 내부에 배치되어, 상기 액추에이터의 회전축과 교차하면서 상기 전기 모터를 통과하는 전류에 의해 회전할 수 있는 전기 모터; 6) 상기 전기 모터의 양 끝단(좌측 및 우측)에 각각 배치된 다수의 캠을 포함하는 캠 장치. 각 캠은 상기 전기 모터의 상면부에 고정된 스프링 또는 스프링 와셔와 같은 다른 부재에 의해 눌릴 때, 해당 전기 모터의 회전과 함께 회전하다가, 눌린 힘이 해제되면 자체 관성 토크에 의해 회전이 멈추는 하사점 위치에 도달할 때까지 회전한다. 이로써 상기 다른 부재(스프링 또는 스프링 와셔)는 상기 상하 운동에 따라 위쪽으로 이동하게 되어, 각 쌍 사이의 거리를 일정하게 유지할 뿐만 아니라, 작동 주기 동안 캠 장치 자체에 부하를 가하지 않고 상대적인 움직임을 방지한다.

결론

고해상도 전자식 유량 제어 밸브는 현재 사용되는 기계식 및 공압식 밸브를 대체할 수 있는 훌륭한 솔루션입니다. 높은 정밀도, 고해상도, 낮은 누출률 및 초고도의 반복성을 자랑합니다. 이 밸브는 최대 65 slpm의 유량을 처리할 수 있으며, 업계 최고 수준인 0.05% 전체 스케일의 해상도를 제공하므로 반도체 응용 분야에 이상적입니다.